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六氟化硫是用來(lái)干什么的?

2023-04-04 14:43:29來(lái)源:本站瀏覽:99次

六氟化硫(SF6)通常是無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、無(wú)味的非燃燒氣體。 六氟化硫作為一種電子氣體,具有良好的化學(xué)穩定性、耐腐蝕性、電絕緣和耐熱性,廣泛應用于半導體、電氣設備、航空航天、半導體制造、金屬加工、醫療等領(lǐng)域。

六氟化物按其應用領(lǐng)域可分為工業(yè)級六氟化硫和電子級六氟化硫。近年來(lái),隨著(zhù)大規模集成電路技術(shù)的提高,市場(chǎng)對電子氣體的純度、質(zhì)量等要求越來(lái)越高,在這種背景下,六氟化硫行業(yè)正逐漸從工業(yè)升級到電子行業(yè)。

電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應用在半導體、面板顯示器件等大規模集成電路的蝕刻和清洗過(guò)程中。作為一種高附加值的精細化學(xué)品,電子級六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘,早期受技術(shù)限制,我國電子級六氟化硫產(chǎn)能不足,產(chǎn)品進(jìn)口依賴(lài)度較高,進(jìn)入21世紀,我國電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,國內市場(chǎng)對電子級六氟化硫的需求增長(cháng)快速,電子級六氟化硫實(shí)現自主生產(chǎn)需求迫切。

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電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應用在半導體、面板顯示器件等大規模集成電路的蝕刻和清洗過(guò)程中。作為一種高附加值的精細化學(xué)品,電子級六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘,早期受技術(shù)限制,我國電子級六氟化硫產(chǎn)能不足,產(chǎn)品進(jìn)口依賴(lài)度較高,進(jìn)入21世紀,我國電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,國內市場(chǎng)對電子級六氟化硫的需求增長(cháng)快速,電子級六氟化硫實(shí)現自主生產(chǎn)需求迫切。

我國電子特氣進(jìn)口依賴(lài)度較高,為提升電子特氣自給率、爭奪國際市場(chǎng),我國政府對電子特氣行業(yè)發(fā)展的重視度提升。2020年,黎明化工研究設計院生產(chǎn)的高純六氟化硫產(chǎn)品通過(guò)了國家重大專(zhuān)項項目組的現場(chǎng)測試與評審,這標志著(zhù)我國極大規模集成電路行業(yè)用高純度六氟化硫電子氣體實(shí)現了國產(chǎn)化。

新思維行業(yè)的行業(yè)分析師表示,六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)和資本壁壘。早年,中國對六氟化硫的進(jìn)口依賴(lài)程度相對較高。近年來(lái),在政策支持和企業(yè)研發(fā)能力提升的背景下,電子六氟化硫逐漸實(shí)現了國產(chǎn)化替代。目前,我國具有電子級六氟化硫能力的企業(yè)數量相對較少,市場(chǎng)供應依然緊張,發(fā)展電子級六氟化硫有著(zhù)廣闊的空間。


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